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前段Array制程:薄膜/黄光/蚀刻/剥膜(二)
来源：本站 作者：匿名 发布：2015/7/2 修改：2015/7/2
隶属：行业新闻 点击：1772
我们以一个像素单位为例，如上图，这个像素中，浅色部分未曝光，而深色的是曝光部分。
接着，用显影剂将曝光部分的光刻胶清洗掉，这样就只剩下未曝光的光刻胶部分，然后用去离子水将溶解的光刻胶冲走。
显影之后需要加热烘烤，让未曝光的光刻胶更加坚固的依附在ITO玻璃上
然后用适当的酸刻液将无光刻胶覆盖的ITO膜的蚀刻掉，只保留光刻胶下方的ITO膜。ITO玻璃为（In2O3 与SnO2）的导电玻璃，未被光刻胶覆盖的ITO膜易与酸发生反应，而被光刻胶覆盖的ITO膜可以保留下来，得到相应的拉线电极。
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