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LCD液晶显示屏盒内的光刻胶
来源:本站 作者:匿名 发布:2014/3/21 修改:2014/3/21
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液晶显示屏盒内光刻胶
光刻胶又称感光胶,分为正性感光胶,和负性感光胶,正性感光胶一般用在涂胶段,负性感光胶一般用在制网段,光刻胶一般由感光剂(光致抗蚀剂)、增感剂和溶剂组成。感光剂是一种特别敏感的高分子化合物,当它受到适当波长光照射时,能吸收一定的光能量,使之发生交联、聚合或分解等光化学反应,使光刻胶改变其性能。
(1)光刻胶的分类
光刻胶是光刻工艺的主要材料,光刻胶种类很多,目前国内外的光刻胶品种已达40种。据光刻胶曝光前后溶解度特性的变化,可将光刻胶分为正性胶和负性胶两大类。
负性胶在曝光前对某些有机溶剂(如丙酮、丁酮、环已酮等)是可溶性的,曝光后发生光聚合反应,不溶于有机溶剂。当用它进行光刻时,在衬底表面将得到与光刻掩模版遮光图案完全相反的图形,故称为负性胶。
正性胶在曝光前对某些溶剂是不可溶的,而曝光后却变成了可溶的。使用这种胶光刻时,能得到与光刻掩模版遮光图案相同的图形,故称为正性胶。
在工艺中光刻胶的使用操作工序如下:
配胶——涂胶——前烘——曝光——显影——坚膜——刻蚀——去胶
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